物質(zhì)的硬度定義為一種物質(zhì)相對于另一物質(zhì)的抗摩擦性或抗刻劃性的能力。例如氮化欽薄膜蒸鍍在齒輪或刀具的表面，可以延長它們的壽命，硬度極高、耐腐蝕性極好、透光性能優(yōu)良的類金剛石膜可用于光學器件、太陽能電池的表面保護。
    硬度試驗方法多種多樣，現(xiàn)在最常用的是維氏(Vickers)硬度，其次是庫氏(Knoop)硬度和布氏〔Brinell)硬度。