真空蒸發(fā)鍍膜(簡(jiǎn)稱真空蒸鍍)是在真空室中，加熱蒸發(fā)容器中欲形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面氣化逸出，形成燕氣流，人射到固體(一般為襯底或基片)表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。真空蒸鍍法的主要物理過(guò)程是通過(guò)加熱使蒸發(fā)材料變成氣態(tài)，故該法又稱為熱蒸發(fā)法。這是1857年首先由Farady采用的最簡(jiǎn)單的制膜方法，現(xiàn)在已獲得廣泛應(yīng)用。近年來(lái)，該方法的改進(jìn)主要集中在蒸發(fā)源上。為了抑制或避免薄膜原材料與蒸發(fā)加熱皿發(fā)生化學(xué)反應(yīng).改用耐熱陶瓷柑禍，如氮化硼(BN)增禍;為了蒸發(fā)低燕氣壓物質(zhì).采用電子束加熱源或激光加熱源;為‘了制備成分復(fù)雜或多層復(fù)合薄膜，發(fā)展了多源共蒸發(fā)或順序蒸發(fā)法;為了制備化合物薄膜或抑制薄膜成分對(duì)原材料的偏離，出現(xiàn)了反應(yīng)蒸發(fā)方法等。